ГЛАВНАЯ

НОВОЕ ОБОРУДОВАНИЕ:
ООО «СОРЭНЖ» ведет работу по созданию нового оборудования для процессов фотолитографии, скрайбирования пластин, резки, различного зондового оборудования

Нами разработано и производится:

  • бюджетная установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» (точность совмещения до 5мкм)
  • установка экспонирования «УЭС-003» (без совмещения)
  • установка засветки резиста «УЗР-002»
  • полуавтомат скрайбирования «АЛМАЗ-С». Эта установка скрайбирования пластин выпущена на замену скрайбера пластин «Алмаз-М» и скрайбера «СКЦИ.442142.001»
  • Мы изготавливаем блоки питания для ламп «ДРШ-350» и «ДРКС-500»
  • Разработали и производим осветитель системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода. На эту разработку имеется патент.
  • Мы изготавливаем блоки подготовки воздуха для различного технологического оборудования
КАПИТАЛЬНЫЙ РЕМОНТ И МОДЕРНИЗАЦИЯ ОБОРУДОВАНИЯ:
ООО «СОРЭНЖ» ведет работу по модернизации различного оборудования: для фотолитографии, скрайбирования пластин и резки, термического оборудования, установок вакуумного напыления и травления, различного зондового оборудования

Нами выполнена модернизация следующих установок:

  • Установки контактной фотолитографии «ЭМ-5006» / «ЭМ-5006А» , «ЭМ-576» / «ЭМ-576А», «ЭМ-5026», «ЭМ-5026А», «ЭМ-586», «AL-06», «AMK-2104.16», «AMK-2104.01», «AMK-2104.02», «MJB-3», «MJB-4»
  • Установки проекционной фотолитографии «ЭМ-584А», «ЭМ-584Б»
  • Изготовление фотошаблонов: «AER», «ЭМ-5009»
  • Из термического оборудования мы многократно проводили модернизацию установок: «ASM», «СД.ОМ-3/100», «ОКСИД»,  «ИЗОТРОН-3», «ИЗОТРОН-4», «ОКТАВА», «ИЗОПЛАЗ», «HCVD-52», «HCVD-55»
  • Из установок напыления: «УВН-71», «УВН-73», «УВН-74», «УВН-75» в разных модификациях;  «МАГНА-2М» и «ОРАТОРИЯ-29»;  «ВУП-5» и  «ВУП-5М»; установки фирмы «BALZERS»…. Нами разработано и производиться большое количество различных блоков для модернизации технологического оборудования. Так же возможно изменение технологических  параметров установок, алгоритмов работы непосредственно под Ваши требования…
  • установки плазмохимического травления «УТП.3-150/1-003» и «08-ПХО-100/10-006» 
  • Из установок скрайбирования: «ЭМ-225», «АЛМАЗ-М»
  • Из установок зондового контроля: «ЗОНД-А3», «ЗОНД-А5», «ЭМ-6010»

АРЕНДА ОБОРУДОВАНИЯ:
ООО «СОРЭНЖ» предоставляет в аренду различное технологическое оборудование для микроэлектронного производства.

Более подробно можно посмотреть здесь