пройти на основной сайт ООО "СОРЭНЖ" можно здесь: soreng.ru  

МАГНА-2М, ОРАТОРИЯ-29

Модернизация вакуумных установок непрерывного действия с магнетронной системой распыления «Магна-2М» и «Оратория-29»

Модернизация возможна в двух вариантах, либо замена БУ «Орион-3» на новый, либо полная замена системы управления установкой.

ЗАМЕНА БЛОКА УПРАВЛЕНИЯ «ОРИОН-3»

Компьютер и новый блок управления размещаются в тумбочке. Подключение происходит к стандартной проводке в местах их подключения к БУ «Орион-3». Срок модернизации — 1 день +1 день обучение персонала.

В результате модернизации:

  •  Корректировка и линеаризация характеристик (т.е. установка зависимости между реальным показанием устройства и значением напряжения, поступающим на аналоговый вход модуля приема).  Благодаря чему, наладчик может самостоятельно заменить одно устройство на другое.
  • Подключение дополнительных или не штатных устройств. Например: Возможность заменить вибронатекатель на регулятор расхода газа (РРГ). В качестве замены вибронатекателя хорошо себя показывает РРГ с расходом 9 л/ч. Опционально, допустимо также создание систем подачи газовой смеси состоящих из нескольких РРГ. При этом поддержание давления в разрядной камере происходит заданной смесью газов (например 90% Аr и 10% N2).
  • Воспроизводимость процессов. После установки нового блока и коррекции входной зависимости нет необходимости изменять технологические задания. В то время как при использовании ручного режима управления установкой, происходит неравномерная задача уставок на «глаз».
  • Построение временных диаграмм работы всех  устройств. На графиках и диаграммах наглядно отображается информация о том как проходил технологический процесс.
  • Архивация данных о прохождении технологического процесса позволяет смотреть, как проводился процесс спустя годы. Сохраненные данные так же содержат время дату и название технологического процесса облегчая их поиск.
  • Наглядное отображение на экране компьютера состояния всех устройств: Включено/выключено; Заданное и прочитанное значение; Режим работы устройства (Включение, нормальная работа, авария); Отображение состояния дверей, затворов шлюзов, насосов, датчиков; Отображение данных о вакууме в шлюзах и камере и т.п.
  • Единый закон управления всеми устройствами. Настройка управления происходит изменением коэффициентов и доступна обслуживающему персоналу. Коэффициенты: скорость роста управляющего напряжения при включении устройства, плавность поддержания заданного значения, максимально допустимое время включения устройства, максимально допустимое время выхода устройства из допуска и другие.
  • Отображение хода пластин и их счет. Графическое отображение на экране реального  положения пластин. Так можно видеть производилось ли напыление на пластины или они еще не дошли до разрядной камеры. Это удобно при остановке процесса. Отображаются количество загруженных, выгруженных пластин и общее количество обработанных пластин за день.
  • Хранение неограниченного числа технологических заданий и легкий доступ к часто используемым.
  • Счетчик дневной и суммарной  наработки мишеней магнетронов. Позволяет прогнозировать скорую замену мишеней.
  • Удобный ручной режим. Позволяет быстро менять заданные значения устройств. Режим удобен для наладки устройств и проведения пробных процессов.
  • Реализованы процедуры «тренировка магнетронов» и «режим «ожидание»

КОМПЛЕКСНАЯ МОДЕРНИЗАЦИЯ

При комплексной модернизации от установки остается железо: каркас, камера, шлюзы и т.д.

Насосы — по усмотрению заказчика.

Удаляются: все стойки, логикон, блоки управления шлюзами, силовые трансформаторы,  балластные резисторы, вибронатекатели, вакуумметры как на форвакуум, так и на высокий и т.д.

ДАЛЕЕ СИСТЕМА СТРОИТСЯ ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ ЗАДАНИЮ ЗАКАЗЧИКА

Управление вакуумной системой и всеми устройствами осуществляется с персонального компьютера. Это позволяет подстраиваться  под используемые типы насосов и особенности их работы. Возможно создание программ под ваши требования. Например: Возможность формирования задания на каждую пластину или группу пластин. Для подбора параметров процесса возможен автоматический запуск пластин по 1 штуке. Происходит установка заданных параметров на устройства. Запускаются  пластины первой группы. Как только они сходят с конвейера заданные значения устройств меняются и запускается группа пластин. Данная возможность не интересна при поточном производстве. Но для наладочных или исследовательских работ связанных с отработкой технологии это позволит значительно сократить время.

Компьютер убран в стойку управления,  монитор используется с сенсорным экраном (+выдвижная клавиатура и мышь). Ниже расположены вакуумметры, блоки с модулем управления скоростью конвейера, модулем управления нагревателем, модулем управления азотными питателями. Еще ниже — три импульсных источника питания магнетронов. Еще ниже — блок с пускателями, автоматами и т.д.

На самой установке там, где были силовые трансформаторы расположены модули управления газовакуумным оборудованием и газовая панель с РРГ для подачи в камеру смеси газов в процентном соотношении.

Возможна модернизация по техзаданию Заказчика: возможна любая начинка установки.

Например: диффузионный, криогенный или турбомолекулярный насос. Количество газовводов и их тип так же оговаривается с заказчиком при составлении ТЗ. Возможны внесения изменений в любую часть оборудования: возможна работа магнетронов со стабилизацией заданного тока, а не мощности; возможно убрать ионную очистку или добавить блок вжигания силицидов; мы можем использовать датчики вакуума от различных фирм-изготовителей; и многое другое… 

Скачать страницу в формате .pdf можно по ссылке: