ООО «Сорэнж» проводит модернизации установок вакуумного напыления УВН-71, УВН-73, УВН-74 и их модификаций:
Цель модернизации — это получить работоспособную установку за короткое время и с минимальными финансовыми затратами.
«Глубина» модернизации возможна разная, и в большей степени зависит от Ваших потребностей и возможностей.
Рассмотрим один из вариантов модернизации на примере установки вакуумного напыления УВН-74П-3
Нами разработаны, испытаны и внедрены современные блоки управления резистивным испарителем, электронно-лучевым испарителем, нагревателем, вакуумной системой и процессом. Блоки выполнены на современной элементной базе с использованием новейших средств вычислительной техники.
Скачать краткое описание в формате .pdf Вы можете по ссылке: Буклет УВН-7х (pdf, 579K)
Так например:
- Управление резистивным испарителем. Новый блок выполнен в 19 дюймовом конструктиве. Из старого —
остаётся силовой трансформатор (внизу стойки). Работа блока возможна в ручном режиме и по сети RS-485.
Описание на БУ резистивным испарителем Вы можете скачать по ссылке: (БУРИ_ТО.pdf 679КБ)
- Управление электронно-лучевыми испарителями. Новый блок так же выполнен в 19 дюймовом конструктиве. Из старого — остаются силовые трансформаторы, накальный и высоковольтный (внизу стойки), разрядники и балластные резисторы. Высоковольтный выпрямитель входит в состав нового блока управления. Работа блока возможна в ручном режиме и по сети RS-485.
Описание на двухканального БУ электронно-лучевыми испарителями Вы можете скачать по ссылке: (БУИ2_ТО.pdf 704КБ)
- Новый блок управления процессом включает в себя управление приводом заслонки, приводом карусели, контроль и стабилизацию температуры подложек.
Работа блок возможна только по сети RS-485.
Описание на БУП Вы можете скачать по ссылке: (БУП_ТО.pdf 710КБ)
- Блок управления вакуумной системой: Располагается блок на месте старого блока управления вакуумной системой. Подключение к насосам,клапанам, датчикам и т.д. происходит новыми кабелями. Из старой проводки ничего не остается. Количество и тип вакуумметров устанавливается по договоренности с заказчиком.
Работа блок возможна только по сети RS-485.
Описание на БУВС Вы можете скачать по ссылке: (БУВС_ТО.pdf 754КБ)
- Управление всеми модулями происходит с помощью персонального компьютера. Связь между компьютером и блоками осуществляется посредством промышленного, помехозащищенного интерфейса RS-485.
Программное обеспечение построено таким образом, что пользователь может наблюдать (и/или управлять) всеми исполнительными устройствами оборудования. На экране отображаются заданные и фактически параметры технологического процесса. Температура отображается в градусах Цельсии, значения тока, мощности и напряжения отображаются непосредственно в мА, Вт, В. Давление в Паскалях или миллиметрах р.ст. Существует отображение параметров технологического процесса с помощью графиков. На графиках предусмотренно масштабирование (как во времени, иак и по значению). Происходит ежесекундная архивация основных параметров с целью дальнейшего «разбора полетов».