пройти на основной сайт ООО "СОРЭНЖ" можно здесь: soreng.ru  

УСТАНОВКА СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ «УСЭ-004»

Установка совмещения и экспонирования «УСЭ-004» предназначена для переноса изображения фотошаблона на подложку экспонированием фоторезистивного слоя подложки при проведения фотолитографических процессов.

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТАНОВКИ:

Габариты (Ш*Г*В) 
Вес
400x850x650 мм 
не более 60 кг.
Питание 180 … 220В, 50 … 60Гц
Режим работы осветителя   С водяным охлаждением по замкнутому циклу: 0…60 сек. с шагом 0.1сек.
Размер станции охлаждения (Ш*Г*В) 
неболее 270х500х350мм
Рабочее поле засветки С оптическим конденсором.
Диаметр поля 100 мм.


Возможны варианты:
С оптическим конденсором. Диаметр поля 60 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 76 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 100 мм. 
С оптическим конденсором. Диаметр поля 150 мм. 
Без оптического конденсора.
Рабочий стол С рабочим столиком диаметром 100мм. С вакуумной фиксацией пластины (диаметр максимальной канавки 90мм).

Возможны варианты:
С рабочим столиком под подложки произвольной фомы.
С рабочим столиком диаметром 60мм.
С рабочим столиком диаметром 76мм. 
С рабочим столиком диаметром 150мм. 
Толщина подложки 0.5 … 1мм

Возможны варианты:
0.5 … 1.3мм
0.8 … 1.6мм
1.0 … 1.8мм
1.5 … 2.3мм
Контактирование подложки с шаблоном Вакуумный контакт подложки с шаблоном.
Длина волны источника УФ излучения 365нм.

Возможны варианты:
400нм.
430нм.
Система совмещения   Основание шаблонодержателя с вакуумной фиксацией. Шаблонодержатель под шаблон 127*127мм. С вакуумной фиксацией шаблона. С возможностью ручного перемещения шаблона с помощью по осям X и Y в пределах 5мм и поворота в пределах 6 градусов. Ручная настройка рабочего столика по высоте в пределах 8мм.

Возможны варианты:
Установлены приспособления для шаблонодержателя 76мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 102мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 127мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя 152мм. 
Установлены приспособления для шаблонодержателя по чертежам заказчика.
Система визуального   контроля Монокулярный микроскоп с панкратической системой – 2шт. Поворотный штати с возможностью регулировки по фокусу — 2шт. Цифровая камера – 2шт. Внутренняя светодиодная подсветка с источником питания – 2шт. Монитор для отображения видеоинформации с сумматором видеосигналов с двух камер – 1шт.

  Возможны варианты:
С одним микроскопом и внутренней или внешней подсветкой.

Для работы установки необходимо подключить ее к однофазной питающей сети 220В, 50Гц (потребляема мощность не более 1.5кВт)

Для работы установки необходимо подключить ее к вакуумной магистрали с остаточным давлением не более 0.2кгс/см2

Установку следуют эксплуатировать в помещениях со следующими параметрами технологического микроклимата:

  • Температура воздуха в помещении 20 – 25 °С
  • Относительная влажность воздуха 45 ±5%
  • Относительная влажность воздуха 45 ±5%
  • Допустимая концентрация аэрозолей размером не более 0.5мкм в рабочем объеме не более 5 част./л.
  • Наличие агрессивных газов и паров кислот и щелочей в помещении не допускается.

Допустимые амплитуды виброперемещений основания под установкой не должны превышать :  5мкм при частоте до 5 Гц и 0.3 мкм при частоте от 5 до 20Гц.