пройти на старый сайт ООО "СОРЭНЖ" можно здесь: soreng.ru  

ОСВЕТИТЕЛИ СИСТЕМЫ ЭКСПОНИРОВАНИЯ НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДА (ЗАМЕНА ЛАМП «ДРШ», «ДРКС», «HBO»)

НАЗНАЧЕНИЕ
Осветители системы экспонирования на основе ультрафиолетового светодиода разработаны и выпущены ООО «СОРЭНЖ» на замену ртутных ламп «ДРШ-250», «ДРШ-350», «ДРКС-500», «HBO». Новые осветители уже используются на установках контактной фотолитографии:

  • «ЭМ-576» и «ЭМ-576A»
  • «ЭМ-5006» и «ЭМ-5006A»
  • «ЭМ-5026» и «ЭМ-5026A»
  • «ЭМ-586»
  • «MJB-3» и «MJB-4»
  • «АМК2104-02», «АМК2104-03», «АМК2104-06», «АМК2104-08», «АМК2104-16»
  • В новых установках произведенных ООО «СОРЭНЖ» «УЗР-002», «УЭС-003»
  • Успешно работают на установках изготовления шаблонов «AER» с объективом 5х
  • Опробована работа на установках проекционной фотолитографии «ЭМ-584А»

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОСВЕТИТЕЛЯ:

  • Длина волны излучающего диода: По выбору 365нм или 400нм или 435нм
  • Плавная регулировка мощности излучения.
  • Стабилизация по мощности светодиода.
  • Включение источника излучения: дистанционно (сигнал 0/+24В,  <15мА) или кнопкой.
  • Охлаждение источника излучения: воздушное, водяное или водяное по замкнутому циклу (не требует подачи/слива воды)
  • Защита по перегреву: аналоговое измерение температуры.
  • Защита по превышению допустимой мощности, тока, напряжения, температуры.
  • Индикация: текущих параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); аварийных параметров (ток, напряжение, мощность, температуры); включения экспонирования; аварии.
  • Питание блока управления: от однофазной сети переменного тока напряжением 85-250В и частотой 50 -60Гц.

МЫ ГОТОВЫ ПРЕДОСТАВИТЬ ОСВЕТИТЕЛЬ НА ДВЕ НЕДЕЛИ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИСПЫТАНИЙ. МЫ ПРИЕДЕМ И УСТАНОВИМ ОСВЕТИТЕЛЬ БЕЗВОЗМЕЗДНО. ЧЕРЕЗ ДВЕ НЕДЕЛИ ИЛИ ОПЛАТИТЕ ИЛИ ВЕРНЕТЕ.

Рассмотрим монтаж нового осветителя системы экспонирования на примере установки совмещения и экспонирования «ЭМ-576А».
1. Из состава установки удаляем фонарь. Целиком, вместе с лампой, параболическим зеркалом, «горячим» зеркалом, высоковольтным блоком поджига, трубками охлаждения, кабелем идущим к нему и т.д.
2. Так как светодиод не горит постоянно, а лишь зажигается на время экспонирования, то мы удалям затвор системы экспонирования (за ненадобностью).
3. Устанавливаем основание с закрепленным на нем новым источником ультрафиолетового излучения в сборе. Основание входит в комплект поставки. Крепление основания производиться в «родные» отверстия, так что ничего сверлить и переделывать не надо.
4. Устанавливаем блок управления и соединяем его с источником ультрафиолетового излучения. Подключаем БУ к питающей сети (85…250В , 50..60Гц).
5. Подключаем разъем, ранее идущий к затвору установки, в блок управления осветителем. Таким образом, вместо открытия/закрытия затвора будет происходить включение/выключение светодиода.
6. Все. На этом монтаж закончен. Можно приступать к отсъемам.