пройти на старый сайт ООО "СОРЭНЖ" можно здесь: soreng.ru  

Фотолитографическое оборудование

Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-576А» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М3.252.161.ТО, 1982г.
Открыть 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-576А-ТО-стр.2-7.pdf.
Скачать 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-576А-ТО-стр.2-7.pdf
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5026» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.169.ТО, 1986г.
Открыть 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке:ЭМ-5026-ТО-л.1-8
Скачать 2-7 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5026-ТО-л.1-8
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5026А» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.177.ТО, 1989г.
Открыть 4-11 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке:ЭМ-5026А-ТО-л.4-11
Скачать 4-11 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5026А-ТО-л.4-11
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-5006» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.152.ТО, 1984г.
Открыть 1-8 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5006-ТО-л.1-8
Скачать 1-8 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-5006-ТО-л.1-8
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.16» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации, 1980г.
Открыть 1-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.16-ТОл1-9
Скачать 1-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.16-ТОл1-9
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.11 и AMK-2104.12 » . Техническое описание и инструкция по эксплуатации, 1980г.
Открыть 2-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.11-12-ТОл.2-9
Скачать 2-9 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: AMK-2104.11-12-ТОл.2-9
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка совмещения и экспонирования «AMK-2104.00, AMK-2104.01, AMK-2104.02 и AMK-2104.03 » . Техническое описание и инструкция по эксплуатации, 1980г.
Открыть описание в формате .pdf Вы можете по ссылке: 2104.00-03-ТО
Скачать описание в формате .pdf Вы можете по ссылке: 2104.00-03-ТО
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка двухстороннего совмещения и экспонирования «ЭМ-565А» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.134-01 ТО/ЦУ, 1982г.
Открыть 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-565-ТОл.1-6
Скачать 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-565-ТОл.1-6
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка двухстороннего совмещения и экспонирования «ЭМ-586» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.144 ТО, 1978г.
Открыть 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-586-ТОл.1-6
Скачать 1-6 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-586-ТОл.1-6
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)

Установка совмещения и экспонирования «ЭМ-526» . Техническое описание и инструкция по эксплуатации Я2М2.252.005, 1975г.
Открыть 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке:ЭМ-526-ТОл.1-4
Скачать 1-4 страницы описания в формате .pdf Вы можете по ссылке: ЭМ-526-ТОл.1-4
Остальная часть документации доступна по запросу (m a i l @ s o r e n g . r u)